Réalisation et caractérisation de couches minces de dichalcogénure de molybdène
- 1 January 1990
- journal article
- Published by EDP Sciences in Revue de Physique Appliquée
- Vol. 25 (4) , 339-346
- https://doi.org/10.1051/rphysap:01990002504033900
Abstract
L'influence des conditions de pulvérisation et des traitements thermiques ultérieurs sur les propriétés structurales de couches minces de MoTe 2 a été étudiée par microscopie électronique à balayage et à transmission, microsonde électronique, spectroscopie d'électrons (X.P.S.), analyse aux rayons X et absorption optique. On montre que des couches stoechiométriques peuvent être obtenues après un traitement thermique adéquat. L'axe c des cristallites de MoTe2 est perpendiculaire au plan du substrat. La largeur de bande interdite (0,9 eV ≤ E0 ≤ 0,93 eV ) déterminée par absorption optique est proche de celle admise pour les monocristaux. Les énergies de liaisons des raies X.P.S. sont en bon accord avec celles des monocristaux de référenceKeywords
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