Zur Entwicklung der Dip‐Pen‐Nanolithographie

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Abstract
Die Möglichkeit zur gezielten Manipulation der chemischen Zusammensetzung und Struktur einer Oberfläche auf der Längenskala von 1 bis 100 nm ist von zentraler Bedeutung für einen breiten Bereich der nanotechnologischen Forschung, angefangen mit Studien zur elektronischen Leitfähigkeit, über die Katalyse hin zur biologischen Erkennung. Die Dip‐Pen‐Nanolithographie (DPN) ist eine neue Direktschreibmethode mit einem Kraftfeldmikroskop zur Erzeugung einer strukturierten chemischen Funktionalität auf einer Oberfläche im Sub‐100‐nm‐Bereich. In diesem Aufsatz stellen wir das Prinzip der DPN vor und betrachten die Entwicklungen der letzten Jahre. Die Themen erstrecken sich von der Entwicklung neuer DPN‐kompatibler Materialien über experimentelle und theoretische Untersuchungen der Prozesse, die den Spitze‐Substrat‐Transport der Tinte steuern, bis hin zur Implementierung von mikroelektromechanischen Systemen (MEMs) für DPN‐Parallelanwendungen.