Interferentielle Absolutprüfung Zweier Flächen

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Abstract
Es wird ein Verfahren beschrieben, mit dem die Abweichungen zweier unbekannter Testflächen von einer Referenzkugel bestimmt werden können. Außer den zu bestimmenden Testflächen befinden sich, im Gegensatz z.B. zu Shearing-Verfahren, keine optischen Elemente im Interferenzstrahlengang. Es braucht nur bei geringen Gangunterschieden gearbeitet zu werden, wobei Vielstrahlinterferenzen verwendet werden können. Minimal werden 3 Interferenzbilder benötigt, in denen sich die beiden Testflächen in verschiedenen Positionen relativ zueinander befinden (die Interferenzbilder können z.B. fotografiert oder abgetastet werden). Man erhält die Abweichungen jeder Testfläche von ihrer Referenzkugel in einem Ensemble von Meßpunkten, die die Kugelfläche in beiden Dimensionen besetzen.

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