Film-thickness Determination in Electron Microscopy: The Electron Backscattering Method
- 1 June 1977
- journal article
- research article
- Published by Taylor & Francis in Optica Acta: International Journal of Optics
- Vol. 24 (6) , 679-691
- https://doi.org/10.1080/713819609
Abstract
Investigations of the properties of electron backscattering are surveyed with respect to the application for thickness determination of self-supporting films and of surface films (top layers) on bulk materials, e.g., in electron microscopy.Keywords
This publication has 26 references indexed in Scilit:
- Progress in monitoring thin film thickness with quartz crystal resonatorsThin Solid Films, 1976
- Energy analysis of large−angle keV electron scattering from solid targetsApplied Physics Letters, 1975
- Messungen und Berechnungen zum elektronenmikroskopischen Streukontrast für 17 bis 1200 keV-ElektronenZeitschrift für Naturforschung A, 1968
- Elektronenmikroskopische Untersuchungs- und PräparationsmethodenPublished by Springer Nature ,1967
- X-Ray Spectrometer Attachment for Elmiskop I Electron MicroscopeReview of Scientific Instruments, 1966
- Röntgenmikroanalyse elektronenmikroskopischer PräparateChemie Ingenieur Technik - CIT, 1965
- Verwendung von Schwingquarzen zur W gung d nner Schichten und zur Mikrow gungThe European Physical Journal A, 1959
- Der Einfluß von Kristallgitter-Interferenzen auf die Abbildung im ElektronenmikroskopThe European Physical Journal A, 1941
- Über das primäre und sekundäre Bild im Elektronenmikroskop. I. Eingriffe in das Beugungsbild und ihr Einfluß auf die AbbildungAnnalen der Physik, 1936
- Theorie der Beugung von Elektronen an KristallenAnnalen der Physik, 1928