Zur Kristallperfektion von Halbleiterepitaxieschichten (I) Nachweis und Identifizierung von Epitaxiebaufehlern
- 1 January 1967
- journal article
- research article
- Published by Wiley in Crystal Research and Technology
- Vol. 2 (4) , 565-575
- https://doi.org/10.1002/crat.19670020414
Abstract
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