Effets du recuit sur les propriétés optiques du silicium amorphe hydrogéné
- 1 January 1983
- journal article
- Published by EDP Sciences in Journal de Physique
- Vol. 44 (3) , 387-392
- https://doi.org/10.1051/jphys:01983004403038700
Abstract
On étudie l'évolution au cours du recuit des propriétés optiques de couches minces de a-Si: H préparées par décomposition sous plasma sur support à haute température. Les résultats sont analysés en fonction de la variation de la concentration d'hydrogène déterminée dans un travail antérieur. Ils permettent de préciser la façon dont l'hydrogène est incorporé au réseau de a-Si et dont il affecte sa densité d'états électroniquesKeywords
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