Utilisation industrielle actuelle et potentielle des plasmas : synthèses, traitement des poudres, traitements métallurgiques, traitements de surface
Open Access
- 1 January 1980
- journal article
- Published by EDP Sciences in Revue de Physique Appliquée
- Vol. 15 (8) , 1281-1301
- https://doi.org/10.1051/rphysap:019800015080128100
Abstract
Après un bref historique de l'évolution de l'utilisation des plasmas au cours des 20 dernières années, nous nous proposons de rappeler sommairement ce qu'est un plasma en précisant notamment la notion d'équilibre et de décrire rapidement les différents types de plasmas utilisés ; arc électrique, haute fréquence, micro-ondes, décharges couronnes, décharges luminescentes, décharges ioniques en indiquant leurs caractéristiques principales, leurs coûts et les quantités de produits que l'on peut traiter. Nous présenterons alors les problèmes posés par les réactions chimiques en plasma en insistant sur le mélange des réactifs et sur la trempe, puis nous caractériserons les réactions en phase gazeuse et les réactions en phase hétérogène. Nous aborderons ensuite les traitements de surface en plasma : carburation et nitruration, traitement des surfaces polymériques, gravure par plasma, dépots de films organiques et inorganiques, traitements de surface par pulvérisation cathodique et ion plating. La dernière partie de cet exposé, de loin la plus importante, sera consacrée aux applications industrielles actuelles et potentielles de la chimie des plasmas. Nous commencerons par situer le problème énergétique dans la conjoncture actuelle avant de passer aux applications que nous classerons en fonction de la valeur ajoutée et du tonnage produit. Dans les applications déjà industrialisées, nous verrons successivement pour les produits à moyenne valeur ajoutée : la sphéroïdisation, la refusion (fours à sole et à lingots), la production des particules ultrafines (pigments en particulier), la projection de divers matériaux (oxydes, carbures, borures, siliciures, cermets, composites...) et pour les produits à forte valeur ajoutée : les circuits électroniques, les traitements de surfaces organiques et inorganiques, les applications dans le domaine de la métrologie. Enfin nous examinerons les procédés potentiellement industrialisables : tout d'abord les produits à moyenne valeur ajoutée : acétylène, oxydes d'azote, production des ferroalliages et du silicium solaire, valorisation des minerais, puis les produits à moyenne ou forte valeur ajoutée : projections, traitements de surface, amélioration de la qualité des fibres naturelles, fabrication des fibres optiques, synthèses sélectivesKeywords
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- Glow Discharge Phenomena in Plasma Etching and Plasma DepositionJournal of the Electrochemical Society, 1979
- The dependence of the porosity of ion-plated films on the process parametersThin Solid Films, 1978
- Application of magnetic pinch force to arc plasma processesJournal of Applied Physics, 1976
- Decomposition of various materials used as electrodes in three-phase alternating current plasma generatorJournal of Physics D: Applied Physics, 1976
- Plasma Engineering in Metallurgy and Inorganic Materials TcchnologyPublished by Walter de Gruyter GmbH ,1976
- The Synthesis of Boron Carbide in an RF PlasmaJournal of the Electrochemical Society, 1975
- Fundamentals of Ion PlatingJournal of Vacuum Science and Technology, 1973
- A rotating-wall, d.c.-arc plasma furnaceJournal of Scientific Instruments, 1967
- the properties of some reactively sputtered metal oxide filmsVacuum, 1953
- Elektronendichte und Temperatur in der Säule des HochstromkohlebogensThe European Physical Journal A, 1953