Schichtzusammensetzung und Temperaturkoeffizient aufgedampfter Nickel/Chrom‐Schichten

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Abstract
Bei 300°C durch Sublimation auf keramischen Substraten aufgedampfte Ni/Cr‐Schichten von 100, 500 und 800 Ω/□ zeigen eine stetige Änderung des TK mit der Schichtzusammensetzung, wobei als Extremwerte im negativen und positiven Bereich der TK von Chrom‐ bzw. Nickel‐Schichten gemessen wurde. Der TK Null wird hier für eine Schichtzusammensetzung von 55 bis 60% Chrom erhalten.Bei 100°C aufgedampfte Ni/Cr‐Schichten weisen eine TK‐Anomalie bei einer Schichtzusammensetzung um 50% Chrom auf, die strukturbedingt sein muß.Die beste Stabilität wurde für Schichten mit ca. 40% Chrom erreicht und steigt mit der Substrattemperatur.

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