Strukturuntersuchung an aufgedampften mit Aluminium modifizierten Nickel/Chrom‐schichten

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Abstract
Der TK des elektrischen Widerstands von aufgedampften niederohmigen Ni/Cr‐Schichten wird durch Modifizierung der Schicht mit Aluminium auf Werte um Null gesenkt. Nach den Ergebnissen der röntgenographischen und der Elektronenbeugungsuntersuchungen treten in der ternären Legierungsschicht vier Phasen auf, die α‐Phasen (Cr), die β‐Phase (NiAl), die γ‐Physe (Ni) und die γ′‐Phase (Ni3Al), die in der ungetemperten Widerstandsschicht einen sehr unvollkommenen Ordnungs‐ und Ausbildungszustand haben. Die kleinsten Werte für den TK zeigen diejenigen Schichten, in denen entsprechend der Zusammensetzung die β‐Phase entstehen kann.
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