Analyse des photocourants dans les structures Al-Al2o 3-Al préparées par bombardement électronique
- 1 January 1977
- journal article
- Published by EDP Sciences in Revue de Physique Appliquée
- Vol. 12 (5) , 773-780
- https://doi.org/10.1051/rphysap:01977001205077300
Abstract
Ce travail a consisté à étudier et analyser les photocourants dans les structures Al-Al2O3-Al dans lesquelles la couche isolante est obtenue par bombardement électronique d'une cible d'alumine. Les analyses par rétrodiffusion nucléaire et par diffraction de rayons X ont montré que les couches d'alumine étaient stoechiométriques et amorphes. La hauteur de barrière de l'interface Al-Al2O3 déterminée par photoémission interne se situe à 3,2 eV ± 0,2 eV. Les valeurs plus faibles rencontrées dans la bibliographie sont attribuées soit à l'oxydation de l'électrode d'aluminium, soit à l'influence d'un courant éventuel de photoconduction qui peut se superposer au courant de photoémission au voisinage du seuil. Cette dernière hypothèse est étayée par l'étude de la variation spectrale de l'absorption des couches d'alumine. L'action des pièges permet de rendre compte de la variation des photocourants Jph en fonction du temps et de la fréquence de modulation, des courbures des diagrammes de Fowler des structures les plus épaisses, et de celles des caractéristiques Jph = f(V)Keywords
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